Verfahren und Vorrichtung zur Beschränkung der temperaturinduzierten Verformung einer piezoelektrischen Einrichtung

摘要

Vorrichtungen und Verfahren zur Kontrolle der temperaturinduzierten Verformung einer piezoelektrischen Einrichtung. Eine piezoelektrische Einrichtung empfängt ein Aktivierungssignal und verschiebt sich in einer ersten Richtung um eine erste vorbestimmte Distanz als eine Funktion des Aktivierungssignals. Die piezoelektrische Einrichtung verschiebt sich ebenfalls in einer zweiten Richtung als eine Funktion einer Änderung der Temperatur der piezoelektrischen Einrichtung. Ein Stopper ist in einer zweiten vorbestimmten Distanz von der piezoelektrischen Einrichtung angebracht. Der Stopper verhindert die Verschiebung der piezoelektrischen Einrichtung in der zweiten Richtung über eine dritte vorbestimmte Distanz hinaus. Eine Ladungs-Umverteilungseinrichtung ist mit der piezoelektrischen Einrichtung gekoppelt. Die Ladungs-Umverteilungseinrichtung verteilt die Ladung auf der piezoelektrischen Einrichtung um, welche durch die Temperaturänderung hervorgerufen wird, um interne elektrische Felder der piezoelektrischen Einrichtung zu reduzieren, welche durch die temperaturinduzierte Verformung der piezoelektrischen Einrichtung hervorgerufen werden.