发明名称 PARALLELPRÜFER FÜR HALBLEITERSCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE60003312(D1) 申请公布日期 2003.07.17
申请号 DE20006003312 申请日期 2000.06.28
申请人 TERADYNE INC., BOSTON 发明人 LECOLST, E.
分类号 G01R31/28;G01R31/319;G06F11/22;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/316;C25C3/08 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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