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发明名称 Teilchenstrahlgerät mit Energiefilter
摘要
申请公布号 DE59808683(D1) 申请公布日期 2003.07.17
申请号 DE19985008683 申请日期 1998.09.22
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH 发明人 WEIMER, EUGEN;BIHR, JOHANNES
分类号 H01J37/05;(IPC1-7):H01J37/05 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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