| 发明名称 | 光源产生装置及接触孔洞的曝光方法 | ||
| 摘要 | 一种光源产生装置及接触孔洞的曝光方法，该方法包括下列步骤：提供一曝光机台，具有一光源及一镜头，其中镜头具有一透光孔隙及至少一辅助透光孔隙；提供一具复数接触孔洞图案的光罩；藉由镜头，使光源透过光罩，以进行曝光；该光源产生装置包括：一光源；一镜头，具有一透光孔隙及至少一辅助透光孔隙，用以使上述光源透过，以进行曝光。 | ||
| 申请公布号 | CN1430101A | 申请公布日期 | 2003.07.16 |
| 申请号 | CN01145086.X | 申请日期 | 2001.12.29 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 吴元薰 |
| 分类号 | G03F7/20 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 1.一种接触孔洞的曝光方法，其特征是：包括下列步骤：提供一曝光机台，具有一光源及一镜头，其中上述镜头具有一中央透光孔隙及至少一辅助透光孔隙；提供一具复数接触孔洞图案的光罩；以及藉由上述镜头，使上述光源透过上述光罩，以进行曝光。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县 | ||