发明名称 CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING SLURRY AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1327258(A1) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP20010977607 申请日期 2001.10.09
申请人 FERRO CORPORATION 发明人 HER, YIE-SHEIN;SRINIVASAN, RAMANATHAN;BABU, SURYADEVARA;RAMARAJAN, SURESH
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/00;B44C1/22 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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