无应力和热稳定的介质滤波器

摘要

将一个多层光干涉滤波器做成小型的独立的滤光元件时，处于完全无应力状态以保持其光学性能，这一多层光干涉滤器内的各种光孔被介质反射器粘合物分开以便在带通和反射区间获得一个非常窄的带通区或高强度传播区。将滤波器从以一定方式装配的基座上取下从而大大地减小应力以保持所得的独立多层薄膜器件结构的完整性。此结构可以再被固定或连接到光学器件上以抑制中心波长中的一个热飘移，这种抑制方法并未增加应力或在通过滤波器的光路内引入一个大体积的基座。

主权项

1.一种制作具有充分减少的净应力的多层干涉滤波器用的方法，该方法包括以下几个步骤：a)提供第一个基底；b)在上述第一基底上淀积一层总厚度大于8微米的可取下的多层干涉滤波器；c)将此多层干涉滤波器从该第一个基底上取下，以形成一独立的滤波器。