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发明名称 Micro-electro-optical mechanical device having an implanted dopant included therein and a method of manufacture therefor
摘要
申请公布号 EP1197778(A3) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP20010308610 申请日期 2001.10.09
申请人 AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORPORATION;LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 AKSYUK, VLADIMIR A.;JIN, SUNGHO;KIM, JUNGSANG;MAVOORI, HAREESH;PARDO, FLAVIO;RAMIREZ, AINISSA
分类号 B81B3/00;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/26;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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