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发明名称 VAPOR DEPOSITION OF SILICATES
摘要 Metal silicates or phosphates are deposited on a heated substrate by the reaction of vapors of alkoxysilanols or alk
申请公布号 EP1327010(A2) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP20010975576 申请日期 2001.09.28
申请人 PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 发明人 GORDON,ROY G.;BECKER, JILL;HAUSMANN, DENNIS;SUH, SEIGI
分类号 C23C16/40;C23C16/42;C01B13/34;C07F9/09;C07F9/11;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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