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发明名称 METHOD OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 EP1326733(A1) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP20010957381 申请日期 2001.07.31
申请人 ASML US, INC.;MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 SAKA, NANNAJI;LAI, JIUN-YU;OH, HILARIO, L.
分类号 B24B49/10;B24B37/04;B24B49/16;H01L21/304;(IPC1-7):B24B49/00 主分类号 B24B49/10
代理机构 代理人
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