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发明名称 LEAKAGE MAGNETISM DETECTING SENSOR OF MAGNETIC PENETRATION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1327882(A1) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP20010976745 申请日期 2001.10.18
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION;SYSTEM HITEC, LTD 发明人 YOKOTA, HIROYUKI;TOMURA, YASUO;UNZAKI, HIDEAKI;TSURUOKA, SHIGETOSHI
分类号 G01R33/02;G01N27/82;G01N27/83;G01R33/07;H01L43/06;(IPC1-7):G01N27/83 主分类号 G01R33/02
代理机构 代理人
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