发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20030060804(A) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 KR20030000790 申请日期 2003.01.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/316;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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