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发明名称 Tilting device
摘要
申请公布号 EP0831351(B1) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP19970115990 申请日期 1997.09.15
申请人 CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, TRADING AS CARL ZEISS 发明人 REUTER, MARTIN;RICHTER, STEFAN
分类号 G02B7/00;G02B7/182;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08;H01L41/02 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
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