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发明名称 METHOD OF CLEANING AN ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 EP1327257(A1) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP20010976267 申请日期 2001.10.01
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 WINTERS, LEONARDUS, C., R.
分类号 G02F1/13;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B5/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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