| 发明名称 |
Method for producing NiTiHf alloy films by sputtering |
| 摘要 |
Disclosed is a method for producing ternary shape-memory alloy films employing sputtering process techniques using krypton as a process gas.
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| 申请公布号 |
US6592724(B1) |
申请公布日期 |
2003.07.15 |
| 申请号 |
US19990400589 |
申请日期 |
1999.09.22 |
| 申请人 |
DELPHI TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
RASMUSSEN GREGORY KELLER;CHANG FENGLIAN;ZHANG JINPING;GOLD TERRY JACK |
| 分类号 |
C23C14/16;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;B22F1/00 |
主分类号 |
C23C14/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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