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发明名称
摘要
申请公布号
JP3425855(B2)
申请公布日期
2003.07.14
申请号
JP19970292105
申请日期
1997.10.24
申请人
发明人
分类号
H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338
主分类号
H01L29/872
代理机构
代理人
主权项
地址
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