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发明名称
摘要
申请公布号	JP3426040(B2)	申请公布日期	2003.07.14
申请号	JP19940246240	申请日期	1994.10.12
申请人		发明人
分类号	C23F4/00;B44C1/22;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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