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经营范围
发明名称
Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung
摘要
申请公布号
DE69719150(T2)
申请公布日期
2003.07.10
申请号
DE1997619150T
申请日期
1997.11.14
申请人
JSR CORP., TOKIO/TOKYO
发明人
TANABE, TAKAYOSHI;KOBAYASHI, EIICHI;SHIMIZU, MAKOTO;IWANAGA, SHIN-ICHIRO
分类号
G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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