| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABFASEN VON HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69903547(T2) |
申请公布日期 |
2003.07.10 |
| 申请号 |
DE19996003547T |
申请日期 |
1999.06.17 |
| 申请人 |
UNOVA U.K. LTD., AYLESBURY |
发明人 |
STOCKER, ANDREW |
| 分类号 |
B24B7/22;B24B9/00;B24B9/06;B24B29/00;B24B37/02;B24B49/16;B24B51/00;B24B53/00;B24B55/04;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/06;B24B37/04 |
主分类号 |
B24B7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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