摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Kraftmess- und Greifvorrichtung (10) zum Abtasten und/oder Greifen von nanometergrossen Objekten in un­terschiedlichen Medien, mit einem ersten und einem zweiten Arm (12, 14), die beabstandet und im wesentlichen parallel zueinander verlau­fen und jeweils eine Längsachse (L1, L2) aufweisen, einer ersten und einer zweiten Greif- und Kraftmesseinnheit (41, 43), wobei die erste Me­sseinheit (41) dem ersten Arm (12) und die zweite Messeinheit (43) dem zweiten Arm (14) zugeordnet ist, wobei zumindest eine Messeinheit senkrecht zur Längsachse biegbar ist. Es wird vorgeschlagen, dass die bei­den Arme über ein Gelenkmittel (18, 54) miteinander verbunden sind, wo­bei das Gelenkmittel (18, 54) die beiden Arme in einen ersten und einen zweiten Längsabschnitt (21, 22) teilt, und das Gelenkmittel (18, 54) so ausgelegt ist, dass es eine Schwenkbewegung zumindest eines Arms (12, 14) um das Gelenkmittel (18, 54) und damit einer Messeinheit (41, 43) in einer Ebene ermöglicht, die parallel zu den Längsachsen beider Arme ist.
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