| 发明名称 |
Electro-optical measuring device to determine the relative position of workpieces or their surfaces |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1211480(A3) |
申请公布日期 |
2003.07.09 |
| 申请号 |
EP20010124754 |
申请日期 |
2001.10.17 |
| 申请人 |
PRUEFTECHNIK DIETER BUSCH AG |
发明人 |
HERMANN, MICHAEL |
| 分类号 |
G01B11/03;G01B11/27;(IPC1-7):G01B11/27 |
主分类号 |
G01B11/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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