| 发明名称 | 立体空间光学式集成电路针脚检测方法及其检测仪器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种立体空间光学式集成电路针脚检测方法，其是利用自动控制移动装置及激光光源器、分光镜、激光光点侦测器、定位感测系统拍摄及处理被检测集成电路的基座及针脚的影像，而判断集成电路针脚的好坏、弯折点及高度。 | ||
| 申请公布号 | CN1114089C | 申请公布日期 | 2003.07.09 |
| 申请号 | CN00121569.8 | 申请日期 | 2000.08.14 |
| 申请人 | 王彤宜 | 发明人 | 王彤宜 |
| 分类号 | G01B11/02;H01L21/66 | 主分类号 | G01B11/02 |
| 代理机构 | 长春市吉利专利事务所 | 代理人 | 王大珠 |
| 主权项 | 1.一种立体空间光学式集成电路针脚检测方法，其是由设于自动控制移动装置(8’)的Y轴上的透镜组(5’)及定位感测侦查系统(6’)侦测集成电路基座及其针脚(11’)的高度，而设置在自动控制移动装置(8’)的X轴上的激光光源器(3’)经其光路上设置的分光镜(2’)对集成电路针脚(11’)投射激光，集成电路基座及针脚(11’)分别产生反射而由设于自动控制移动装置(8’)的Y轴上的激光光点侦测器(4’)拍摄集成电路针脚(11’)的状况，再藉由电脑软件分析，判断集成电路针脚(11’)的良否、弯折点及高度情况。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||