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发明名称 PLASMA PROCESS APPARATUS
摘要
申请公布号 AU2002358315(A1) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 AU20020358315 申请日期 2002.12.13
申请人 TOKOYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAKASHI AKAHORI;SATORU KAWAKAMI;NOBUHIRO IWAMA;TSUTOMU HIGASHIURA
分类号 C23C16/44;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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