发明名称 Monos device having buried metal silicide bit line
摘要
申请公布号 AU2002357826(A8) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 AU20020357826 申请日期 2002.12.11
申请人 FASL LLC 发明人 ZORAN KRIVOKAPIC;ARVIND HALLIYAL;JUSUKE OGURA;NICHOLAS H. TRIPSAS;MINH VAN NGO;MARK T. RAMSBEY
分类号 H01L21/8247;H01L21/336;H01L21/74;H01L21/8246;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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