发明名称 |
Monos device having buried metal silicide bit line |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002357826(A8) |
申请公布日期 |
2003.07.09 |
申请号 |
AU20020357826 |
申请日期 |
2002.12.11 |
申请人 |
FASL LLC |
发明人 |
ZORAN KRIVOKAPIC;ARVIND HALLIYAL;JUSUKE OGURA;NICHOLAS H. TRIPSAS;MINH VAN NGO;MARK T. RAMSBEY |
分类号 |
H01L21/8247;H01L21/336;H01L21/74;H01L21/8246;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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