一种具有高时间分辨的电子显微镜

摘要

本实用新型涉及一种具有高时间分辨的电子显微镜，该显微镜包括超短脉冲激光器、真空靶室、光聚焦元件、靶部件、电子光阑或电子束能谱控制部件、试样支撑调节部件、图像接收部件；在真空靶室内或外设有激光器，激光器产生的脉冲经光聚焦元件聚焦后，与真空靶室内的靶相互作用，产生高能电子束脉冲，经电子光阑或电子束能谱控制部件调制后，与试样支撑调节部件内的待测样品相互作用产生测试图像，由图像接收部件接收；本实用新型将激光等离子体的超快时间分辨能力引入电镜技术，在传统电镜高空间分辨率的基础上，建造具有超快时间特征的高时间分辨率电镜，其电子束能量高，通用性强，可满足材料、生物、化学及物理等各方面的科研、开发要求。

主权项

1、一种具有高时间分辨的电子显微镜，包括超短脉冲激光器(1)、真空靶室(4)、光聚焦元件(5)、靶部件(6)、电子光阑或电子束能谱控制部件(8)、试样支撑调节部件(11)、图像接收部件(13)；其特征在于在真空靶室(4)内或外设有超短脉冲激光器(1)，在真空靶室(4)内，激光器(1)产生的超短激光脉冲的光路上设光聚焦元件(5)，在光聚焦元件(5)的焦点处设有靶部件(6)；在靶部件(6)的靶面法线方向设有电子光阑或电子束能谱控制部件；在电子光阑或电子束能谱控制部件出射电子通道上设试样支撑调节部件(11)，在试样支撑调节部件(11)后设有图像接收部件(13)。