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发明名称 APPARATUS FOR ATTACHING RESISTS AND WAFERS TO SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1325511(A1) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 EP20000973121 申请日期 2000.10.12
申请人 GENERAL SEMICONDUCTOR OF TAIWAN, LTD.;NELSON, WILLIAM JOHN;LAI, STANLEY;SHEN, LARRY;LIN, JACK;WU, SHYAN-I, WU 发明人 NELSON, WILLIAM JOHN;LAI, STANLEY;SHEN, LARRY;LIN, JACK;WU, SHYAN-I, WU
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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