发明名称 | 塔式多层循环老化设备 | ||
摘要 | 本实用新型是一种塔式多层循环老化设备,主要于一温控处理室于内部区隔出的高温处理通道及低温处理通道内组架多层输送进给系统,该多层输送进给系统由复数层双轨循环输送装置于两侧各搭配一组升降输送进给装置所组成,该双轨循环输送装置设有各穿伸高、低温处理通道并于上方平台输送受测物进给以老化处理的输送带,而该升降输送进给装置的竖轨间距组架一推移机构作以横向位移,供以可对应于多层输送进给系统的输送带,让输送受测物得作以轨道转换运输循环进给;藉此,受测物在双轨循环送装置中进行高、低温循环进给经热胀冷缩的冲击工作特性,可快速针对电子元件具不良情形进行检测,进而在生产制程能力上具有缩短老化处理制程时间效益。 | ||
申请公布号 | CN2560094Y | 申请公布日期 | 2003.07.09 |
申请号 | CN02207919.X | 申请日期 | 2002.03.19 |
申请人 | 效鸿科技股份有限公司 | 发明人 | 李三元 |
分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘国平 |
主权项 | 1、一种塔式多层循环老化设备,在一温控处理室内部区分出的高温处理通道及低温处理通道内组架多层输送进给系统,其特征在于:该多层输送进给系统具有复数层双轨循环输送装置,在其两侧各搭配一组升降输送进给装置,该双轨循环输送装置包括一穿伸入温控处理室高温处理通道的输送带、一穿伸入温控处理室低温处理通道的输送带,所述输送带各由一动力驱动组件驱动带动;所述升降输送进给装置包括一平行间隔的竖轨,且于竖轨间距组架一推移机构,该推移机构由一动力驱动组件带动;所述推移机构顶部架构一由气压推移组件带动一移位台座作横向位移,且移位台座上设有由一动力驱动组件带动的输送带。 | ||
地址 | 台湾省桃园县 |