发明名称 |
Method for the production of iii-v laser components |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002356608(A8) |
申请公布日期 |
2003.07.09 |
申请号 |
AU20020356608 |
申请日期 |
2002.11.15 |
申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
ALOIS KROST;ARMIN DADGAR;HOLGER JURGENSEN |
分类号 |
H01L21/20;H01S5/02;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/20;C30B25/02 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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