发明名称 Method for the production of iii-v laser components
摘要
申请公布号 AU2002356608(A8) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 AU20020356608 申请日期 2002.11.15
申请人 AIXTRON AG 发明人 ALOIS KROST;ARMIN DADGAR;HOLGER JURGENSEN
分类号 H01L21/20;H01S5/02;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/20;C30B25/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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