级联扫描光学系统的同步装置

摘要

级联扫描光学系统包括：第一激光扫描光学系统，具有有多个第一反射表面的第一多面反射镜；第二激光扫描光学系统，具有有多个第二反射表面的第二多面反射镜；测量多个第一反射面和多个第二反射面倾斜度的装置；根据测量装置的测量结果，确定多个第一反射表面和多个第二反射表面之间组合的装置，当极小化由多个第一反射面倾斜度形成的第一相位和多个第二反射面倾斜度形成的第二相位之间的相位差时，由任一个组合可形成单一的扫描线。

主权项

1.一种级联扫描光学系统，包括：第一激光扫描光学系统，它有第一多面反射镜，多面反射镜装有多个第一反射表面，用于偏转第一扫描激光束去扫描扫描表面的一部分以生成第一扫描线；第二激光扫描光学系统，它有第二多面反射镜，多面反射镜有多个第二反射表面再于偏转第二扫描激光束，以扫描所述扫描表面的另一部分，生成第二扫描线，安排第一和第二扫描光学系统以便将所述第一扫描线和第二扫描线在接触点处沿主扫描方向对准，形成一个单一的扫描线；测量装置，用于测量所述多个第一反射表面倾斜度和所述多个第二反射表面倾斜度；及确定装置，根据所述测量装置的测量结果，确定所述多个第一反射表面和所述多个第二反射表面的组合，当极小化由所述多个第一反射表面的倾斜度形成的相位和由所述多个第二反射表面的倾斜度形成的相位之间的相位差时，由任一个所述的组合形成所述单个扫描线。