METHOD AND APPARATUS COMPRISING A MAGNETIC FILTER FOR PLASMA PROCESSING A WORKPIECE,申请号AU20020366943-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS COMPRISING A MAGNETIC FILTER FOR PLASMA PROCESSING A WORKPIECE
摘要
申请公布号	AU2002366943(A1)	申请公布日期	2003.07.09
申请号	AU20020366943	申请日期	2002.11.22
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	BILL QUON
分类号	H05H1/46;C23C14/34;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/8238;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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