差动式螺线管磁场检测装置及其制造方法

摘要

一种差动式螺线管磁场检测装置，是一种以微观尺寸制造的磁场检测器，其构成包括：层叠在半导体基片上的两个软磁性薄膜式磁芯，由按数字“8”的形状卷绕的金属薄膜图形构成的、用于对软磁性薄膜式磁芯交替激磁的激磁线圈，以及由螺旋形卷绕的金属薄膜图形形成的磁通变化检测线圈。由于两个磁通变化检测线圈构成闭合的磁通路，漏磁通可以降到最少。此外，该磁场检测装置是一种差动式磁场检测器，各驱动信号组合后可以抵减。

主权项

1、一种差动式螺线管磁场检测装置，包含：半导体基片；平行地层叠在该半导体基片上以形成闭合磁通路的软磁性薄膜式磁芯；由金属薄膜形成的螺线管形激磁线圈，用于对该软磁性薄膜式磁芯进行交替地激磁和差动激磁；以及由金属薄膜形成的螺线管形磁通变化检测线圈，用于检测软磁性薄膜式磁芯中的磁通变化。