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发明名称 Procedure and apparatus for measuring the edges of objects
摘要
申请公布号 EP0837300(B1) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 EP19970116333 申请日期 1997.09.19
申请人 CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, TRADING AS CARL ZEISS 发明人 BREYER, KARL-HERMANN, DR.;GOETZ, KLAUS-DIETER;BECK, ROLF
分类号 G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00;G01B11/02 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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