| 发明名称 |
METHOD FOR THE PRODUCTION OF III-V LASER COMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002356608(A1) |
申请公布日期 |
2003.07.09 |
| 申请号 |
AU20020356608 |
申请日期 |
2002.11.15 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
HOLGER JURGENSEN;ALOIS KROST;ARMIN DADGAR |
| 分类号 |
H01L21/20;H01S5/02;H01S5/323 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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