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发明名称 POLISHING PAD
摘要
申请公布号 AU2002360661(A1) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 AU20020360661 申请日期 2002.12.18
申请人 PPG INDUSTRIES OHIO, INC. 发明人 WILLIAM, C. ALLISON;ROBERT, G. SWISHER;ALAN, E. WANG
分类号 B24B37/24;B24D3/28;B24D3/32;B24D11/00;B24D13/14;B24D99/00;C08J5/14;C08L101/00;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):C09G1/16;B24D17/00;B24B37/00 主分类号 B24B37/24
代理机构 代理人
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