检测光罩机台修正精确度的方法

摘要

一种检测光罩机台修正精确度的方法，包括以下步骤：提供一光罩，该光罩上形成有一遮光层且遮光层具有一图案，该图案包括多个线条，其中每一线条具有一缺陷部。修正该些缺陷部。对每一线条量取缺陷部修正后的线条宽度以及住于缺陷部两侧的线条宽度，并计算缺陷部两侧线条宽度的平均值及缺陷部两侧线条宽度平均值与缺陷部线条宽度之差，而求得一误差比。利用此误差比可评估光罩机台的修正精确度。

主权项

1.一种检测光罩机台修正精确度的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一光罩，该光罩上形成有一遮光层且该遮光层具有一图案，该图案包括复数线条，其中每一线条具有一缺陷部；修正该些缺陷部；以及对每一线条量取该缺陷部修正后的线条宽度以及该缺陷合两侧的线条宽度，并计算该缺陷部两侧线条宽度的平均值及该缺陷部两侧线条宽度平均值与该缺陷部线条宽度之差，而求得一误差比。