发明名称 Método para depósito contìnuo de camadas metálicas por meio de plasma frio e dispositivo para depósito contìnuo de camadas metálicas por meio de plasma frio
摘要 "MéTODO PARA DEPóSITO CONTìNUO DE CAMADAS METáLICAS POR MEIO DE PLASMA FRIO E DISPOSITIVO PARA DEPóSITO CONTìNUO DE CAMADAS METáLICAS POR MEIO DE PLASMA FRIO". Sendo que a presente invenção refere-se a um método e um dispositivo para depositar uma camada de metal em um substrato (1) que consiste de uma deposição com plasma frio dentro de uma câmara de confinamento aquecido (7) de modo a evitar a formação de um depósito de metal em sua superfície, dita câmara (7) possuindo um orifício de entrada (21) e um orifício de saída (22) através do qual o substrato a ser revestido entra e deixa dita câmara, uma fonte de vapor formando um eletrodo, sendo provida em dita câmara permitindo a formação de plasma (6) na mesma, um contra-eletrodo sendo formado pelo substrato (1) ou por um elemento eletricamente condutor separado. A invenção é caracterizada pelo fato de que consiste na introdução de metal, com o qual é formada uma camada de metal no substrato (1), em estado derretido em um tanque de retenção (8) comunicando-se com a câmara de confinamento (7) e mantendo o metal derretido em dito tanque (8) a um nível substancialmente constante enquanto a camada de metal está sendo formada.
申请公布号 BR0113560(A) 申请公布日期 2003.07.08
申请号 BR20010013560 申请日期 2001.08.23
申请人 COLD PLASMA APPLICATIONS 发明人 PIERRE VANDEN BRANDE;ALAIN WEYMEERSCH
分类号 G02B6/44;C03C25/42;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 G02B6/44
代理机构 代理人
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