| 摘要 |
<p>Strontiumcarbonat, Bariumcarbonat, Strontiumsulfat und Bariumsulfat in genügender Feinheit, insbesondere wenn synthetisch hergestellt, eignen sich als Schleifmittel beim chemisch-mechanischen Polieren von mikroelektronischen Bauteilen, beispielsweise für Halbleiter. Die Verbindungen werden zweckmässig als Aufschlämmungen eingesetzt, die ein Dispergiermittel enthalten können und deren pH-Wert vorteilhaft grösser als 8 ist.</p> |
