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L'invention concerne les gyromètres à structure vibrante micro-usinée dans un substrat de silicium. II est décrit une structure vibrante originale avec deux masses mobiles 14 et 14', reliées par une structure de couplage d'énergie de vibration (bras transversaux 26, 26', bras longitudinaux 22, 22', et liaison courte transversale 24 entre les liaisons longitudinales 22, 22'). Les masses mobiles sont suspendues par ailleurs à des bras de flexion (13) en forme de U ayant une extrémité de branche reliée à la masse et une autre extrémité reliée à un point d'ancrage fixe 18. Les bras de flexion ne sont pas intercalés entre la structure de couplage et la masse mais sont indépendants de la structure de couplage. Les masses sont excitées en vibration dans leur plan par des forces électrostatiques appliquées par des peignes interdigités 11. Les forces de Coriolis les font vibrer perpendiculairement au plan et cette vibration est détectée par des électrodes faisant partie des masses mobiles. Application : mesure de vitesses angulaires dans les avions, automobiles, robots, etc.
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