发明名称 Nadelkarten-Justageeinrichtung zur Planarisierung von Nadelsätzen einer Nadelkarte
摘要
申请公布号 DE19952943(C2) 申请公布日期 2003.07.03
申请号 DE19991052943 申请日期 1999.11.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KUND, MICHAEL
分类号 G01R1/06;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66;H01L41/09;(IPC1-7):G01R31/28;H01R11/18 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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