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发明名称
Nadelkarten-Justageeinrichtung zur Planarisierung von Nadelsätzen einer Nadelkarte
摘要
申请公布号
DE19952943(C2)
申请公布日期
2003.07.03
申请号
DE19991052943
申请日期
1999.11.03
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
KUND, MICHAEL
分类号
G01R1/06;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66;H01L41/09;(IPC1-7):G01R31/28;H01R11/18
主分类号
G01R1/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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