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<p>Für die Herstellung unterschiedlicher optischer Datenträger mit einer einzelnen Anlage, die einerseits kompakt ist, und die rasch zwischen der Herstellung unterschiedlicher optischer Datenträger wechseln kann, sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten vor. Die Vorrichtung besitzt eine Substrat-Beladeeinheit, einen Rundschalttisch (120), eine dem Rundschalttisch zugeordnete Behandlungseinheit (124), eine Substrat-Entladeeinheit, sowie erfindungsgemäß wenigstens eine weitere, dem Rundschalttisch zugeordnete Behandlungseinheit (128), wobei der Rundschalttisch elf Tischpositionen aufweist. Bei dem Verfahren werden jeweils ein erstes und ein zweites Substrat auf benachbarten Positionen eines elf Positionen aufweisenden Rundschalttisch abgelegt und die Substrate in Abhängigkeit vom zu bildenden Datenträger in einem Einzeltakt oder einem Dreiertakt zwischen einer Beladeposition, wenigstens einer Behandlungsposition und benachbarten Entladepositionen bewegt.</p> |
