发明名称 Vakuum-Plasma-Beschichtungsanlage und Anwendung derselben
摘要
申请公布号 DE59905694(D1) 申请公布日期 2003.07.03
申请号 DE19995005694 申请日期 1999.03.04
申请人 VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH 发明人 FALZ, MICHAEL;BUECKEN, BERND;WILBERG, RUEDIGER
分类号 B22D11/10;C08K5/10;C23C14/50;H01J37/00;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 B22D11/10
代理机构 代理人
主权项
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