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发明名称
Herstellungsverfahren für ein Dünnschicht-Bauelement, insbesondere ein Dünnschicht-Hochdrucksensorelement
摘要
申请公布号
DE50100266(D1)
申请公布日期
2003.07.03
申请号
DE20015000266
申请日期
2001.02.23
申请人
ROBERT BOSCH GMBH
发明人
GLUECK, JOACHIM
分类号
G01L1/22;G01L9/00;(IPC1-7):G01L1/22
主分类号
G01L1/22
代理机构
代理人
主权项
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