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发明名称 Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69628367(D1) 申请公布日期 2003.07.03
申请号 DE19966028367 申请日期 1996.03.15
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 IWABUCHI, YUKO;SATO, MITSUGU;OSE, YOICHI
分类号 H01J37/20;H01J37/12;H01J37/153;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/256;H01J37/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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