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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Sortierung von Wafern einer Chipproduktion von einem Anfangszustand in einen Endzustand, wobei die Wafer (W) zumindest teilweise anhand eines Informationsträgers als Glieder einer endlichen Folge identifizierbar sind und im Anfangszustand die Wafer (W) in beliebiger Reihenfolge im Fach einer Aufnahmevorrichtung (H) angeordnet sind und im Endzustand jeder Wafer (W) soweit möglich entsprechend seiner Stellung in der Folge in den Fächern der Aufnahmevorrichtung (H) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass DOLLAR A a) ein erster Wafer (W1) einem ersten Fach (s2) der Aufnahmevorrichtung (H) entnommen wird, DOLLAR A b) der Informationsträger des ersten Wafers (W1) durch eine Lesevorrichtung (A) zur Bestimmung der Stellung des ersten Wafers (W1) in der Folge ausgelesen wird, DOLLAR A c) anschließend ein zweiter Wafer (W2) aus einem zweiten Fach (s1) entnommen wird, das der Stellung des ersten Wafers (W1) in der Folge entspricht, DOLLAR A d) der erste Wafer (W1) in das Fach (s1) bewegt wird, das seiner Stellung in der Folge entspricht. Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
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