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发明名称 Gassammler bzw. Gaskollektor für einen Epitaxialreaktor
摘要
申请公布号 DE10194628(T1) 申请公布日期 2003.07.03
申请号 DE20011094628T 申请日期 2001.06.21
申请人 ITT MFG. ENTERPRISES, INC. 发明人 SILLMON, ROGER S.;NGUYEN, KHANG V.
分类号 C23C16/455;C23C16/44;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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