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发明名称 CVD-METHOD AND GAS INLET MECHANISM FOR CARRYING OUT THE METHOD
摘要
申请公布号 EP1322801(A1) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP20010962856 申请日期 2001.07.14
申请人 AIXTRON AG 发明人 STRAUCH, GERD;KAEPPELER, JOHANNES;DAUELSBERG, MARTIN
分类号 C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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