| 发明名称 |
Process for etching a conductive layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1322145(A3) |
申请公布日期 |
2003.07.02 |
| 申请号 |
EP20030005092 |
申请日期 |
1999.02.22 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE |
发明人 |
ROUBEROL, MARC |
| 分类号 |
H01L21/308;C03C17/23;C03C17/245;C23F1/00;H01L31/18;H05K3/06;(IPC1-7):H05K3/06 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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