Ultrasonic cleaner and wet treatment nozzle comprising the same,申请号EP20030075663-传众专利搜索

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发明名称	Ultrasonic cleaner and wet treatment nozzle comprising the same
摘要
申请公布号	EP1321198(A3)	申请公布日期	2003.07.02
申请号	EP20030075663	申请日期	2000.03.07
申请人	ALPS ELECTRIC CO., LTD.	发明人	ONO, SHOICHI;MITSUMORI, KENICHI;KASAMA, YASUHIKO;HAGA, NOBUAKI;SOEJIMA, JUNICHIRO;TAKHASHI, NORIHISA;FUJIE, AKIO;IWASAKI, MINEO
分类号	B08B3/12;G02F1/13;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12;B08B3/02	主分类号	B08B3/12
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