| 发明名称 |
Drainage structure in polishing plant |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0842737(B1) |
申请公布日期 |
2003.07.02 |
| 申请号 |
EP19970119903 |
申请日期 |
1997.11.13 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
TOGAWA, TETSUJI;YAMAGUCHI, KUNIAKI |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/00;H01L21/00;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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