发明名称 Novel high brightness point ion sources using liquid ionic compounds
摘要
申请公布号 EP0706199(B1) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP19940480098 申请日期 1994.10.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;ORSAY PHYSICS 发明人 CORBIN, ANTOINE;SUDRAUD, PIERRE;SAILER, RAINER
分类号 H01J27/26;(IPC1-7):H01J27/26;H01J27/22 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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