基板保持装置、曝光装置以及器件制造方法

摘要

在构成夹具主体的主体部上表面，设置多个销钉部以及上端面设定为与销钉部的前端面大致为同一高度的环缘部。此外，主体部由蜂窝夹层构造体构成。此外，蜂窝芯的通孔与多个销钉部的配置对应的配置形成。通过真空吸附机构，晶片被真空吸附在多个销钉部的各个前端部分以及环缘部的前端部上。此外，在多个销钉部中，至少位于环缘部附近的销钉部与位于其他部分的销钉部相比，以较密的间隔配置。

主权项

1.一种基板保持装置，保持平板状的基板，其特征在于，包括保持装置主体，该保持装置主体在其一个表面的规定面积的区域内，具有各个前端部分大致位于同一平面上而配置的、支持上述基板的多个突起状的第一支持部件，在除了上述保持装置主体的上述一个表面侧的表层部之外的部分中，至少在上述表层部和另一个表面侧的表层部之间的部分上，形成与上述多个第一支持部件的配置对应配置的多个空穴。